真空系統

真(zhen)空熱處理(li)爐的(de)真(zhen)空系統的(de)三個基本要求：

1)能迅速地將真空熱處理(li)爐(lu)的真空度抽到規定的要求。

2)能(neng)及時排(pai)出被處(chu)理工件和(he)爐內構件所釋(shi)放出的(de)(de)各種氣體(ti)，以及因(yin)真(zhen)空泄(xie)漏而滲(shen)入爐體(ti)內的(de)(de)氣體(ti)。

3)真空機組占地(di)面積小，運行安(an)全可靠，操(cao)作(zuo)簡便。

真空系統的組成

真(zhen)空(kong)(kong)熱處理爐(lu)的真(zhen)空(kong)(kong)系統通常(chang)由真(zhen)空(kong)(kong)獲得設備(真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)機組)、控制真(zhen)空(kong)(kong)組件(jian)和測量真(zhen)空(kong)(kong)組件(jian)所(suo)組成。

1)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)機(ji)組。根據爐子工(gong)作壓力和(he)抽氣量(liang)的(de)大(da)小，分別選配不同的(de)低真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)、中真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)、高真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)和(he)超高真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)。

2)真(zhen)(zhen)空組件(jian)(jian)或(huo)(huo)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)。在真(zhen)(zhen)空爐體(ti)和(he)真(zhen)(zhen)空泵機組之間配(pei)備(bei)的各種真(zhen)(zhen)空組件(jian)(jian)或(huo)(huo)真(zhen)(zhen)字元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)，如管路、密封(feng)圈、法蘭、波紋管、冷(leng)阱、過濾器和(he)閥門等。

3)真(zhen)空(kong)(kong)測量系統(tong)，如真(zhen)空(kong)(kong)規管(guan)、真(zhen)空(kong)(kong)壓力表和其他真(zhen)空(kong)(kong)測量儀(yi)表。

4)真空(kong)檢漏儀器(qi)、真空(kong)控(kong)制儀器(qi)、充氣裝置等。

真(zhen)(zhen)空爐品種多，對真(zhen)(zhen)空系統(tong)(tong)的(de)要求(qiu)不一樣。就真(zhen)(zhen)空度而(er)言(yan)，有(you)低真(zhen)(zhen)空、中真(zhen)(zhen)空和高真(zhen)(zhen)空系統(tong)(tong)。下面介(jie)紹幾種常用的(de)真(zhen)(zhen)空系統(tong)(tong)。

1．低(di)真空(kong)系(xi)統  

低真空(kong)系統適用于(yu)真空(kong)度在2～1333Pa范圍(wei)的(de)真空(kong)熱處理爐(lu)，如預(yu)抽低真空(kong)井(jing)式爐(lu)。大多以油封式旋轉機械泵為主泵。

2．中真空系統

中(zhong)真(zhen)空(kong)系統(tong)適用(yong)(yong)于(yu)真(zhen)空(kong)度在(zai)3 X10～～1．333Pa范圍的真(zhen)空(kong)熱處理(li)爐(lu)(lu)。中(zhong)真(zhen)空(kong)系統(tong)在(zai)真(zhen)空(kong)熱處理(li)爐(lu)(lu)中(zhong)應(ying)用(yong)(yong)最廣泛，其(qi)通(tong)常由(you)兩級(ji)(ji)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)機組組成。初級(ji)(ji)泵(beng)(beng)多采(cai)用(yong)(yong)旋轉(zhuan)機械(xie)(xie)泵(beng)(beng)或滑閥式(shi)機械(xie)(xie)泵(beng)(beng)，主泵(beng)(beng)為(wei)機械(xie)(xie)增壓(ya)泵(beng)(beng)(羅茨泵(beng)(beng))或油增壓(ya)泵(beng)(beng)

3．高真空系統

高真(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統適用(yong)于(yu)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度在6．6×10～～1．333 X 10。Pa范圍的真(zhen)空(kong)(kong)(kong)熱處理爐，如真(zhen)空(kong)(kong)(kong)退火爐、真(zhen)空(kong)(kong)(kong)釬焊爐，通(tong)(tong)常(chang)由三級真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)機組組成，主泵(beng)通(tong)(tong)常(chang)采(cai)用(yong)油擴散(san)泵(beng)、離子泵(beng)，初級泵(beng)大(da)都(dou)也是采(cai)用(yong)旋轉機械泵(beng)或滑(hua)閥(fa)式機械泵(beng)。